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大型の対象物をスライドステージで処理する装置です。コンベアでは流せないものを処理します。 | |
【ILP 400S】 | 【ILP 700S】 |
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S:スライドステージ タイプ |
ILP 400S | ILP 700S | |
電 源 | 220V 50/60Hz | 220V 50/60Hz |
高周波電源 | 600W | 1kW |
周 波 数 | 13.56MHz | 13.56MHz |
キャリアガス | Ar | Ar |
反応ガス | O2, N2 | O2, N2 |
処 理 幅 | 400mm | 700mm |
処理速度 | Max 100mm/sec | Max 100mm/sec |