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| 大型の対象物をスライドステージで処理する装置です。コンベアでは流せないものを処理します。 | |
| 【ILP 400S】 | 【ILP 700S】 |
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| S：スライドステージ タイプ | |
| ILP 400S | ILP 700S | |
| 電 源 | 220V 50/60Hz | 220V 50/60Hz |
| 高周波電源 | 600W | 1kW |
| 周 波 数 | 13.56MHz | 13.56MHz |
| キャリアガス | Ar | Ar |
| 反応ガス | O2, N2 | O2, N2 |
| 処 理 幅 | 400mm | 700mm |
| 処理速度 | Max 100mm/sec | Max 100mm/sec |
