ヘッドユニット

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私たちはプラズマ装置としてだけではなく、プラズマヘッドユニットのみの販売もおこなっております。
電極ヘッド、RF電源、コントローラーユニットが付属されております。
電 源 220V 50/60Hz
構 成

プラズマヘッド

高周波電源

マッチングユニット

コントロールボックス(流量制御ユニット)

周 波 数 13.56MHz
キャリアガス Ar
反応ガス O2, N2
処 理 幅 20~2,000mm
I/O インターフェース D-sub 25pin
※ヘッド冷却用チラーユニットはオプションとなります