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| コンベア上にプラズマヘッドがついている量産対応の装置です。連続して対象物を 処理できますので非常に効率的です。ガスのON/OFFとプラズマON/OFFは連動しています。 | |
| 【ILP 100C/200C】 | 【ILP 500C】 |
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| C：ベルトコンベア タイプ | |
| ILP 100C | ILP 200C | ILP 500C | |
| 電 源 | 220V 50/60Hz | 220V 50/60Hz | |
| 高周波電源 | 300W | 600W | |
| 周 波 数 | 13.56MHz | 13.56MHz | |
| キャリアガス | Ar | Ar | |
| 反応ガス | O2, N2 | O2, N2 | |
| 処 理 幅 | 100mm | 200mm | 500mm |
| 処理速度 | Max 100mm/sec | Max 100mm/sec | |
