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コンベア上にプラズマヘッドがついている量産対応の装置です。連続して対象物を 処理できますので非常に効率的です。ガスのON/OFFとプラズマON/OFFは連動しています。 | |
【ILP 100C/200C】 | 【ILP 500C】 |
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C:ベルトコンベア タイプ |
ILP 100C | ILP 200C | ILP 500C | |
電 源 | 220V 50/60Hz | 220V 50/60Hz | |
高周波電源 | 300W | 600W | |
周 波 数 | 13.56MHz | 13.56MHz | |
キャリアガス | Ar | Ar | |
反応ガス | O2, N2 | O2, N2 | |
処 理 幅 | 100mm | 200mm | 500mm |
処理速度 | Max 100mm/sec | Max 100mm/sec |