ロールコンベア タイプ

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特に大判のガラス基板などはロールコンベアにて搬送し、処理をおこないます。
【ILP 1500R】
R:ロールコンベア タイプ
ILP 1500R
電 源 220V 50/60Hz
高周波電源 2kW
周 波 数 13.56MHz
キャリアガス Ar
反応ガス O2, N2
処 理 幅 1500mm
処理速度 Max 100mm/sec