卓上マニュアルタイプ

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ステージが前後スライドするタイプの装置です。主に開発用途などに適しております。 手動スライドはMyPL、自動スライドはMyPLAutoシリーズとなります。 プラズマのON/OFF、ガスのON/OFFは手動で操作します。
【MyPL100/200】 【MyPLAuto100/200】
MyPL100 MyPL200 MyPL Auto100 MyPL Auto200
電 源 110V/220V 50/60Hz 110V/220V 50/60Hz
高周波電源 200W 300W 200W 300W
周 波 数 13.56MHz 13.56MHz
キャリアガス Ar Ar
反応ガス O2, N2 O2, N2
処 理 幅 100mm 200mm 100mm 200mm
処理速度 Max 100mm/sec