(0 votes)
| ステージが前後スライドするタイプの装置です。主に開発用途などに適しております。 手動スライドはMyPL、自動スライドはMyPLAutoシリーズとなります。 プラズマのON/OFF、ガスのON/OFFは手動で操作します。 | |
| 【MyPL100/200】 | 【MyPLAuto100/200】 |
 |
 |
| MyPL100 | MyPL200 | MyPL Auto100 | MyPL Auto200 | |
| 電 源 | 110V/220V 50/60Hz | 110V/220V 50/60Hz | ||
| 高周波電源 | 200W | 300W | 200W | 300W |
| 周 波 数 | 13.56MHz | 13.56MHz | ||
| キャリアガス | Ar | Ar | ||
| 反応ガス | O2, N2 | O2, N2 | ||
| 処 理 幅 | 100mm | 200mm | 100mm | 200mm |
| 処理速度 | – | Max 100mm/sec | ||
