Atmospheric Direct Plasma Equipment

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大気圧ダイレクトプラズマ装置

 
従来とは異なる新しいプラズマ処理装置 APP社は多様な種類の独創的な大気圧プラズマを開発し、この技術に基づき、大気圧下でのグロープラズマ技術を確立、 一般洗浄、表面改質処理及び疎水性などの機能性疎水処理の基礎技術を作り上げてきました。 APP大気圧ダイレクトプラズマ装置は、独自の電極構造により、高エネルギーラジカルイオンを発生させる事で、 結合エネルギーの高い基材表面を容易に改質する事ができます。従来の大気圧プラズマ装置に比べ、 約1/30のガス消費量と約1/10の消費電力を実現し、ランニングコストも抑えることが出来ます。 又、この低ガス・低電圧下によってオゾン発生量は0.012ppmに抑えられ、排気設備を設置する必要がありません。 装置のラインナップとしては、卓上マニュアルタイプのMyPLシリーズ、コンベアタイプのILPシリーズ、 又、200mmから2,000mm迄処理が可能なヘッド/コントロールユニットの販売もしており、コンパクトなヘッドな為、 連続表面処理の製造ラインに組み込むことが可能です。
 
 
 
 
 
 
 
APP大気圧ダイレクトプラズマ装置は、いろいろなマーケット及びアプリケーションに採用されています。 タッチパネル、スマートフォン、タブレットの他、有機EL、フレキシブルディスプレイ、半導体、太陽光発電セルなどで実績があります。 【ラミネーション:OCAフィルム、DATフィルム】 【オプティカル貼り合せ、OCR】 ガラス/フィルムなどへの表面改質を行うことにより、濡れ性を向上させ、ラミネーティングでの気泡の発生を防ぎます。   【ACF接続】 LCD・有機EL・タッチパネルなどのフラットパネル、及びPCBとFPCとのACF貼付け信頼性を向上させます。   【光学系樹脂塗布:AF,ARコーティング】 基材への表面改質を行うことにより、コーティングの際の密着性を向上致します。
 
 
 
 
 
 
 
ステージが前後スライドするタイプの装置です。主に開発用途などに適しております。 手動スライドはMyPL、自動スライドはMyPLAutoシリーズとなります。 プラズマのON/OFF、ガスのON/OFFは手動で操作します。 【MyPL100/200】 【MyPLAuto100/200】 MyPL100 MyPL200 MyPL Auto100 MyPL Auto200 電 源 110V/220V 50/60Hz 110V/220V 50/60Hz 高周波電源 200W 300W 200W 300W 周 波 数 13.56MHz 13.56MHz キャリアガス Ar Ar 反応ガス…
 
 
 
 
 
 
 
コンベア上にプラズマヘッドがついている量産対応の装置です。連続して対象物を 処理できますので非常に効率的です。ガスのON/OFFとプラズマON/OFFは連動しています。 【ILP 100C/200C】 【ILP 500C】 C:ベルトコンベア タイプ ILP 100C ILP 200C ILP 500C 電 源 220V 50/60Hz 220V 50/60Hz 高周波電源 300W 600W 周 波 数 13.56MHz 13.56MHz キャリアガス Ar Ar…
 
 
 
 
 
 
 
大型の対象物をスライドステージで処理する装置です。コンベアでは流せないものを処理します。 【ILP 400S】 【ILP 700S】 S:スライドステージ タイプ ILP 400S ILP 700S 電 源 220V 50/60Hz 220V 50/60Hz 高周波電源 600W 1kW 周 波 数 13.56MHz 13.56MHz キャリアガス Ar Ar 反応ガス O2, N2…
 
 
 
 
 
 
 
特に大判のガラス基板などはロールコンベアにて搬送し、処理をおこないます。 【ILP 1500R】 R:ロールコンベア タイプ ILP 1500R 電 源 220V 50/60Hz 高周波電源 2kW 周 波 数 13.56MHz キャリアガス Ar 反応ガス O2, N2 処 理 幅 1500mm 処理速度 Max 100mm/sec
 
 
 
 
 
 
 
私たちはプラズマ装置としてだけではなく、プラズマヘッドユニットのみの販売もおこなっております。電極ヘッド、RF電源、コントローラーユニットが付属 されております。 電 源 220V 50/60Hz 構 成 プラズマヘッド 高周波電源 マッチングユニット コントロールボックス(流量制御ユニット) 周 波 数 13.56MHz キャリアガス Ar 反応ガス O2, N2 処 理 幅 20~2,000mm I/O インターフェース D-sub 25pin ※ヘッド冷却用チラーユニットはオプションとなります
 
 
 
 
 
 
 
顧客の製造プロセス・生産ラインに併せたハンドリングを提供します。 【貼合装置向けユニット】 【ロール to ロール向けユニット】
 
 
 
 
 
 
 
このような場合にPlami βは最適です 研究開発用・評価用に最適な、プラズマヘッドユニットにハンディタイプが登場しました。 プラズマヘッドを手に持ってプラズマ照射しますので、非常に汎用性があります。 【Plami β プラズマヘッド】 【RF電源ユニット】 主な仕様 電 源 110/220V、50/60Hz 高周波電源 200W 周 波 数 13.56MHz キャリアガス アルゴン 反応ガス 酸素、窒素 処 理 幅 100mm