
真空タイプ/全自動タイプ
Crystal&SAW、光学デバイス、センサー
特徴
- 最速のサイクルタイム1.5秒と高可用性
- 2016年の最小PKGサイズ
- 高信頼性シーリング
- 高性能シーリングヘッドとPS
- 簡単なメンテナンスと製品シフト

| 真空タイプ/全自動タイプ | |
|---|---|
| 電源:本体 | AC200V 3Φ 40A |
| 電源:チャンバー | AC200V 3Φ 30A |
| Air | 0.5 MPa |
| N2ガス | 0.2 MPa |
| 水 | 0.5 MPa |
| 寸法/質量 | 3950W x 1320D x 1870H mm 2,045kg |


| 真空タイプ/全自動タイプ | |
|---|---|
| 電源:本体 | AC200V 3Φ 40A |
| 電源:チャンバー | AC200V 3Φ 30A |
| Air | 0.5 MPa |
| N2ガス | 0.2 MPa |
| 水 | 0.5 MPa |
| 寸法/質量 | 3950W x 1320D x 1870H mm 2,045kg |