CMS-2100

  • 必要な床面積：4.08㎡
  • 省スペースで高生産性を実現（UPH1340）
  • 高分解能カメラ＋定点圧着による搭載精度の向上
  • 柔軟な温度コントロール（10段階設定可能）
  • DFCFヘッド採用により、推力・位置・速度の3情報の監視で異常現象を即時検出
  • 機種替が容易(キャリア搬送方式, 脱着式圧着ツール)
  • ローダー、アンローダ、大気圧プラズマユニット等との連結

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