このバルブでボードなどの基材に均一なコンフォーマルコーティングを施します。

• 均一なコーティングが可能です。
• スパッタのないきれいなエッジコーティングができます。
• 低流量設計により、薄膜コーティングを実現。
• 1パスで広範囲に塗布できます。
• マイクロメーター内蔵で数値管理も可能です。