N2ガスタイプ/全自動タイプ
Crystal&SAW、光学デバイス、センサー
特徴
- 最速のサイクルタイム1.5秒と高可用性
- 2016年の最小PKGサイズ
- 高信頼性シーリング
- 高性能シーリングヘッドとPS
- 簡単なメンテナンスと製品シフト
N2ガスタイプ/全自動タイプ | |
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電源:本体 | AC200V 3Φ 20A |
電源:チャンバー | AC200V 3Φ 30A |
Air | 0.5MPa |
N2ガス | 0.2MPa |
水 | 0.5MPa |
寸法/質量 | 2970W x 1320D x 1870H mm 1,800kg |