N2ガスタイプ/全自動タイプ

Crystal&SAW、光学デバイス、センサー

特徴

  • 最速のサイクルタイム1.5秒と高可用性
  • 2016年の最小PKGサイズ
  • 高信頼性シーリング
  • 高性能シーリングヘッドとPS
  • 簡単なメンテナンスと製品シフト

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

N2ガスタイプ/全自動タイプ
電源:本体 AC200V 3Φ 20A
電源:チャンバー AC200V 3Φ 30A
Air 0.5MPa
N2ガス 0.2MPa
0.5MPa
寸法/質量 2970W x 1320D x 1870H mm 1,800kg

製品のお問い合わせ